发明名称 METHOD OF FORMING SELF-ALIGNED FIELD EFFECT TRANSISTORS IN INTEGRATED CIRCUIT STRUCTURES
摘要
申请公布号 EP0083785(A3) 申请公布日期 1985.01.23
申请号 EP19820111973 申请日期 1982.12.27
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 RISEMAN, JACOB
分类号 H01L21/033;H01L21/225;H01L21/336;H01L29/423;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/033
代理机构 代理人
主权项
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