| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR TRANSPORTING AN ARTICLE IN VACUUM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0095980(A3) |
申请公布日期 |
1984.03.07 |
| 申请号 |
EP19830401070 |
申请日期 |
1983.05.27 |
| 申请人 |
FUJITSU LIMITED |
发明人 |
NAGASHIMA, MASAYASU;IIJIMA, NOBUO |
| 分类号 |
B65G49/07;B65G51/02;B65G51/03;B65G53/02;H01L21/677;(IPC1-7):B65G51/02;H01L21/68 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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