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发明名称 METHOD OF MAKING HIGH DIELECTRIC CONSTANT INSULATORS AND CAPACITORS USING SAME
摘要
申请公布号 EP0096773(A3) 申请公布日期 1984.02.22
申请号 EP19830105175 申请日期 1983.05.25
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 HSIEH, NING;IRENE, EUGENE ARTHUR;ISHAQ, MOUSA HANNA;ROBERTS, STANLEY
分类号 C01B33/12;B05D5/12;C01B33/113;H01B3/02;H01G2/12;H01G4/06;H01G4/08;H01G4/10;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/822;H01L27/04;H01L29/94;(IPC1-7):H01B3/02;H01L21/31 主分类号 C01B33/12
代理机构 代理人
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