发明名称
摘要
申请公布号 JPH0612810(B2) 申请公布日期 1994.02.16
申请号 JP19870199110 申请日期 1987.08.11
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 TOOYAMA SHIGERU
分类号 G01J1/44;G01J5/48;H01L27/14;H01L27/146;H01L31/108;H04N5/33;H04N5/335;H04N5/355;H04N5/357;H04N5/369;H04N5/374;(IPC1-7):H01L27/146 主分类号 G01J1/44
代理机构 代理人
主权项
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