| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS5872059(A) |
申请公布日期 |
1983.04.28 |
| 申请号 |
JP19820176473 |
申请日期 |
1982.10.08 |
| 申请人 |
HONEYWELL INC |
发明人 |
ROBAATO II HIGASHI;ROBAATO JII JIYONSON;URURITSUCHI BON;JIYON PII SAMUNAA |
| 分类号 |
G01P13/00;G01D5/16;G01D5/18;G01N27/12;G01N27/16;G01P5/12;H01L21/822;H01L27/04 |
主分类号 |
G01P13/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
