| 发明名称 |
WERKWIJZE EN FOTOMETRISCHE INRICHTING VOOR HET METEN EN STUREN VAN DE DIKTE VAN OPTISCH WERKZAME LAGEN. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL8203211(A) |
申请公布日期 |
1983.04.05 |
| 申请号 |
NL19820003211 |
申请日期 |
1982.08.16 |
| 申请人 |
LEYBOLD-HERAEUS GMBH TE KEULEN, BONDSREPUBLIEK DUITSLAND. |
发明人 |
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| 分类号 |
G01B21/08;G01B11/06;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/06;G05D5/02 |
主分类号 |
G01B21/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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