发明名称
摘要
申请公布号 JPS5827936(U) 申请公布日期 1983.02.23
申请号 JP19810121961U 申请日期 1981.08.18
申请人 发明人
分类号 H01L29/41;H01L21/331;H01L21/60;H01L29/72;H01L29/73;(IPC1-7):H01L21/60;H01L29/44 主分类号 H01L29/41
代理机构 代理人
主权项
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