| 发明名称 |
ETCHING METHOD FOR SILICON NITRIDE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5826013(A) |
申请公布日期 |
1983.02.16 |
| 申请号 |
JP19810120642 |
申请日期 |
1981.08.03 |
| 申请人 |
OKI DENKI KOGYO KK |
发明人 |
HIRASHITA NORIO;KANAMORI JIYUN |
| 分类号 |
B01J19/08;C01B21/064;C01B21/068;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/318 |
主分类号 |
B01J19/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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