发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPS55128823(A) 申请公布日期 1980.10.06
申请号 JP19790035481 申请日期 1979.03.28
申请人 HITACHI LTD 发明人 ANZAI AKIO
分类号 H01L29/73;H01L21/22;H01L21/265;H01L21/331;H01L29/36 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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