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发明名称 DEVICE FOR TWO-COORDINATE MOVING OF ARTICLES
摘要
申请公布号 SU754525(A1) 申请公布日期 1980.08.07
申请号 SU19782653817 申请日期 1978.08.09
申请人 SERGEEV SERGEJ E,SU 发明人 SERGEEV SERGEJ E,SU
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00;B23Q1/14 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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