| 发明名称 |
ELECTRON BEAM TYPE OBSERVATION APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5558405(A) |
申请公布日期 |
1980.05.01 |
| 申请号 |
JP19780130552 |
申请日期 |
1978.10.25 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
AOKI NOBUHIKO;KUJI TOMOHIRO;KENBOU YUKIO |
| 分类号 |
G01B15/00;G01B15/04;G01R31/302;H01J37/28;H01L21/66 |
主分类号 |
G01B15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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