发明名称 MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54101273(A) 申请公布日期 1979.08.09
申请号 JP19780007965 申请日期 1978.01.26
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 KAMOSHITA MOTOTAKA
分类号 H01L21/76;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/316;H01L21/322 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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