发明名称 Oppslemning for slipende uorganiske oksidpartikler og fremgangsmÕte for polering av kobberinneholdende overflater
摘要
申请公布号 NO20025050(A) 申请公布日期 2002.10.21
申请号 NO20020005050 申请日期 2002.10.21
申请人 W R GRACE & CO -CONN. 发明人 PRYOR, JAMES NEIL
分类号 B24B37/00;B05D7/00;C09D163/00;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/321;(IPC1-7):C09G1/02 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
主权项
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