发明名称 METHOD OF AND APPARATUS FOR CHIPPINGGOFF WITH EXHAUSTING HEAD
摘要
申请公布号 JPS5364980(A) 申请公布日期 1978.06.09
申请号 JP19760140123 申请日期 1976.11.24
申请人 HITACHI LTD 发明人 MITA TOORU
分类号 H01J9/40;H01J9/38 主分类号 H01J9/40
代理机构 代理人
主权项
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