| 发明名称 |
METHOD FOR REMOVING TRAMP MATERIALS AND VACUUM EXHAUST SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100260246(B1) |
申请公布日期 |
2000.07.01 |
| 申请号 |
KR19960012081 |
申请日期 |
1996.04.20 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
FUJIKAWA, YUICHIRO;MURAKAMI, SEISHI;HATANO, TATSUO |
| 分类号 |
B01D53/34;B01D8/00;B01D53/58;B01D53/72;B01J3/00;B01J3/02;C23C16/44;F28F3/02;H01L21/205;H01L21/285 |
主分类号 |
B01D53/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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