发明名称 DEVICE FOR CONTROLLING DIMENSIONS OF PHOTOPATTERNS
摘要
申请公布号 SU569846(A1) 申请公布日期 1977.08.25
申请号 SU19752300100 申请日期 1975.12.11
申请人 NOVIKOV VILORIJ M,SU;KONONOVICH ALEKSANDR YU,SU;CHUKHLIB VLADIMIR ,SU;KAPELEVICH ILYA ,SU;SVIDELSKIJ ARNOLD P,SU;SAVIKOVSKIJ ARKADIJ ,SU 发明人 NOVIKOV VILORIJ M,SU;KONONOVICH ALEKSANDR YU,SU;CHUKHLIB VLADIMIR ,SU;KAPELEVICH ILYA ,SU;SVIDELSKIJ ARNOLD P,SU;SAVIKOVSKIJ ARKADIJ ,SU
分类号 G01B11/02;(IPC1-7):G01B11/02 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
主权项
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