| 摘要 |
포토레지스트 조성물 및 이를 이용한 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 포토레지스트 조성물은 디지털 노광에 사용되는 포토레지스트로써, 노볼락 수지 및 하기 화학식 1로 표시되는 화합물을 포함하는 바인더 수지, 디아지드계 화합물을 포함하는 광 감응제 및 용매를 포함할 수 있다. [화학식 1] 여기서, 화학식 1에서 R1 내지 R9는 수소원자, 알킬기, 또는 벤질기이고, a는 0 내지 10의 정수부이고, b는 0 내지 100의 정수부이며, c는 1내지 10의 정수부이다. |
