发明名称 METHOD FOR VAPOR GROWING TERNARY COMPOUNDS
摘要
申请公布号 US3619282(A) 申请公布日期 1971.11.09
申请号 USD3619282 申请日期 1968.09.27
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 GERALD W. MANLEY;PHILIP S. MCDERMOTT;EDWARD S. PAN;RALPH J. RILEY
分类号 C01G11/00;C30B23/02;C30B25/00;C30B25/02;C30B29/48;G03B21/64;H01L21/365;(IPC1-7):H01L7/36;C23C13/04 主分类号 C01G11/00
代理机构 代理人
主权项
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