发明名称 |
METHOD FOR VAPOR GROWING TERNARY COMPOUNDS |
摘要 |
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申请公布号 |
US3619282(A) |
申请公布日期 |
1971.11.09 |
申请号 |
USD3619282 |
申请日期 |
1968.09.27 |
申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
GERALD W. MANLEY;PHILIP S. MCDERMOTT;EDWARD S. PAN;RALPH J. RILEY |
分类号 |
C01G11/00;C30B23/02;C30B25/00;C30B25/02;C30B29/48;G03B21/64;H01L21/365;(IPC1-7):H01L7/36;C23C13/04 |
主分类号 |
C01G11/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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