| 发明名称 | 静电激励器 | ||
| 摘要 | 静电激励器，包括：上部结构，它通过悬臂连接到衬底上形成的并支承在衬底上面的空间中的支承底部；下部结构，它设在衬底中与上部结构相对的位置中；倾斜结构，它相对于上部结构和下部结构之一设置，使上部结构和下部结构之间的距离小；和一个或多个电极，其按与倾斜结构对应的关系相对另一结构设置。 | ||
| 申请公布号 | CN1193926C | 申请公布日期 | 2005.03.23 |
| 申请号 | CN02151585.9 | 申请日期 | 2002.10.24 |
| 申请人 | 日本电气株式会社 | 发明人 | 铃木健一郎 |
| 分类号 | B81B5/00;H01H59/00 | 主分类号 | B81B5/00 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 章社杲 |
| 主权项 | 1.静电激励器，包括：上部结构(12)，通过悬臂(11)连接到设在衬底上并支承在衬底上的空间中的支承底部(10)；下部结构(100)，设在衬底中与上部结构(12)相对的位置中；一个或多个设置在下部结构(100)上的电极(101a，101b)；其中，该上部结构(12)通过在电极(101a，101b)与一倾斜结构(14)之间施加电压而朝向下部结构一侧倾斜，其特征在于：所述倾斜结构(14)具有相对于底部(10)倾斜并设置在上部结构(12)上的一个表面，从而使上部结构(12)与下部结构(100)的距离小，并且该一个或多个电极(101a，101b)设置在下部结构(100)的一个平整表面上。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||