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发明名称 Process and apparatus for the uniform application of a resist layer to a substrate
摘要
申请公布号 EP0363235(B2) 申请公布日期 1999.10.06
申请号 EP19890402448 申请日期 1989.09.07
申请人 KARL SUSS TECHNIQUE 发明人 CAVAZZA, GILBERT
分类号 B05C11/08;B05D1/40;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/16;H01L21/00 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
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