发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04159772(A) 申请公布日期 1992.06.02
申请号 JP19900286431 申请日期 1990.10.23
申请人 SONY CORP 发明人 MIWA HIROYUKI
分类号 H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/94 主分类号 H01L21/8249
代理机构 代理人
主权项
地址