在光微影术中用于对准光罩的装置

摘要

本发明物件系提供一种在光微影术中用于对准光罩的装置，其中在用于第一光罩中之第一光罩盒座内可提供用于第二光罩之至少一接合器，致使该等光罩接合至该第一光罩或接合至可用于该装置中之该至少一接合器。本发明之优点在于从一光罩尺寸到至少一不同尺寸之光罩尺寸允许简单、省时且节省成本的转换。