| 摘要 |
本发明的课题为简单地判断晶圆成为所定的计测位置而将计测指令输出至感测控制器，并可开始计测。具备：晶圆旋转手段2，及旋转检测手段3，及投光于晶圆的周缘部的投光手段9，及直线状地配置的CCD线性感测器26，及检测晶圆的边缘位置并求出定向平面位置与缺口位置，中心位置的至少一位置的信号处理手段10，17的晶圆预对准装置，其特征为具备；接收旋转检测手段的信号而变换成旋转位置资讯的可逆计数器21a，及储存旋转间隔角度时的旋转位置资讯的计测角度设定暂存器21b，及比较计测角度设定暂存器的设定值与可逆计数器的计数值的比较器21c。 |
