变容器电容－电压模型及其形成装置和方法、使用方法

摘要

一种变容器电容－电压模型及其形成装置和方法、使用方法，根据方程如右式，A₁为自变量x取最小值时的因变量y值；A₂为自变量x取最大值时的因变量y值；所述x值为变容器的电压；所述y值为变容器的电容值。本发明通过根据变容器的栅极条的长度L及宽度W，确定中的参数A₁和A₂的值，降低了电容－电压实验数据与电容－电压模型曲线之间的误差；降低了变容器的实验数据的S参数与根据模型曲线计算获得的S参数之间的误差；降低了变容器的品质因子Q的实验数据与模型曲线之间的误差。

主权项

1.一种变容器的电容-电压模型的形成方法，其特征在于，包括：在一电压范围内测试变容器的电容值，所述电压具有中点值以及相邻取值之间的间隔值，所述变容器的栅极层的栅极条具有长度L以及宽度W；计算该电压范围内、栅极条长度为L以及宽度为W的变容器的单位电容，所述单位电容具有最小值和最大值；采用$y=\frac{A_1-A_2}{1+e^{(x-x_0)/\mathrm{dx}}}+A_2作为变容器的电容-电压模型，其中，x值为电压，y值为栅极条长度为L以及宽度为W的变容器的单位电容，x0为电压的中点值，dx为电压相邻取值之间的间隔值；将栅极条长度为L以及宽度为W的变容器的单位电容的最小值作为所述方程中的A1，将栅极条长度为L以及宽度为W的变容器的单位电容的最大值作为所述方程中的A2。$