发明名称 WIRING METHOD IN SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04261045(A) 申请公布日期 1992.09.17
申请号 JP19910007058 申请日期 1991.01.24
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SADAKANE TOSHIYUKI;TAKAHASHI KAZUHIRO
分类号 H01L21/82;G06F17/50 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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