发明名称 Wafer-Ausrichtung mit beschränktem visuellem Zugriff
摘要 Eine Wafer-Ausrichtung mit beschränktem visuellem Zugriff wurde offenbart. In einem Beispiel bezieht ein Verfahren zur Bearbeitung eines Substrats zum Herstellen einer Solarzelle das Stützen des Substrats über einem Gerüst ein. Das Verfahren bezieht die Ausbildung einer im Wesentlichen lichtundurchlässigen Schicht über dem Substrat ein. Die im Wesentlichen lichtundurchlässige Schicht bedeckt zumindest teilweise Kanten des Substrats. Das Verfahren bezieht die Ausführung der Anpassung der im Wesentlichen lichtundurchlässigen Schicht an das Substrat ein. Das Verfahren bezieht die Beleuchtung der bedeckten Kanten des Substrats mit durch das Gerüst übertragenem Licht ein, sowie das Erfassen eines ersten Bildes der bedeckten Kanten des Substrats basierend auf dem durch das Gerüst übertragenen Licht. Das Verfahren bezieht weiter die Bestimmung einer ersten Position des Substrats relativ zum Gerüst basierend auf dem ersten Bild der bedeckten Kanten ein. Das Substrat kann basierend auf der bestimmten ersten Position des Substrats unter der im Wesentlichen lichtundurchlässigen Schicht weiter verarbeitet werden.
申请公布号 DE112014005776(T5) 申请公布日期 2016.09.22
申请号 DE20141105776T 申请日期 2014.12.17
申请人 SunPower Corporation 发明人 Pass, Thomas
分类号 H01L31/18 主分类号 H01L31/18
代理机构 代理人
主权项
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