| 摘要 |
【課題】製造ユニットの周囲がカバーで覆われた製造装置において、使い勝手や安全性の向上を図る。【解決手段】製造装置１０は、製造ユニット１１及びこれの周囲を覆うカバー７１を備える。カバー７１は、外部から製造ユニット１１を視認可能とする透明のパネル本体７４を有する。パネル本体７４には、接触又は接近による入力を検知可能であり、入力を検知した位置に関する情報等を出力可能に構成された透明な薄膜状の入力検知センサ８１と、パネル本体７４に対し画像を表示可能な液晶パネル８２等と、入力検知センサ８１からの情報が入力されるとともに、液晶パネル８２等を制御可能な制御装置８５とを備える。制御装置８５は、入力検知センサ８１に対し所定の入力があったとき、パネル本体７４の前記所定の入力のなされた位置等にて画像を表示させるように液晶パネル８２等を制御する。【選択図】 図３３ |
