发明名称
摘要
申请公布号 JPS5032435(A) 申请公布日期 1975.03.29
申请号 JP19740068820 申请日期 1974.06.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/04;C25D13/02;G03G5/043;G03G5/082;H01L21/10;H01L29/00 主分类号 H01L21/04
代理机构 代理人
主权项
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