| 发明名称 |
METHOD FOR LPCVD CO-DEPOSITION OF METAL AND SILICON TO FORM METAL SILICIDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0070751(B1) |
申请公布日期 |
1986.01.08 |
| 申请号 |
EP19820401171 |
申请日期 |
1982.06.25 |
| 申请人 |
FAIRCHILD CAMERA & INSTRUMENT CORPORATION |
发明人 |
LEHRER, WILLIAM I. |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/42 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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