| 发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03184050(A) |
申请公布日期 |
1991.08.12 |
| 申请号 |
JP19900228454 |
申请日期 |
1990.08.31 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
MARUYAMA TAKASHI;CHIJIMATSU TATSUO;KOBAYASHI KOICHI;YANO KEIKO;KANEDA HIROYUKI |
| 分类号 |
G03F7/30;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
G03F7/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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