发明名称 CONTACT CHAIN PATTERNING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR970007832(B1) 申请公布日期 1997.05.17
申请号 KR19930029803 申请日期 1993.12.27
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 KIM, SANG-YOUNG
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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