发明名称 | 具有长形齿布置的研磨轮设计 | ||
摘要 | 本发明提供了具有长形齿布置的研磨轮设计。研磨轮包括基盘、和突出于基盘的表面之外的多个齿。多个齿对准围绕研磨轮的中心的长形环。 | ||
申请公布号 | CN106181748A | 申请公布日期 | 2016.12.07 |
申请号 | CN201510811608.7 | 申请日期 | 2015.11.20 |
申请人 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 发明人 | 苏峻兴;林俊成;符策忠;张文华;茅一超 |
分类号 | B24B37/10(2012.01)I;B24B37/34(2012.01)I;B24D13/14(2006.01)I | 主分类号 | B24B37/10(2012.01)I |
代理机构 | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人 | 章社杲;李伟 |
主权项 | 一种装置,包括:研磨轮,包括:基盘;以及多个齿,突出于所述基盘的表面之外,其中,所述多个齿对准围绕所述研磨轮的中心的长形环。 | ||
地址 | 中国台湾新竹 |