发明名称 具有长形齿布置的研磨轮设计
摘要 本发明提供了具有长形齿布置的研磨轮设计。研磨轮包括基盘、和突出于基盘的表面之外的多个齿。多个齿对准围绕研磨轮的中心的长形环。
申请公布号 CN106181748A 申请公布日期 2016.12.07
申请号 CN201510811608.7 申请日期 2015.11.20
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 苏峻兴;林俊成;符策忠;张文华;茅一超
分类号 B24B37/10(2012.01)I;B24B37/34(2012.01)I;B24D13/14(2006.01)I 主分类号 B24B37/10(2012.01)I
代理机构 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人 章社杲;李伟
主权项 一种装置,包括:研磨轮,包括:基盘;以及多个齿,突出于所述基盘的表面之外,其中,所述多个齿对准围绕所述研磨轮的中心的长形环。
地址 中国台湾新竹