发明名称 水平微球间歇震动装置
摘要 本发明提供了一种水平微球间歇震动装置,所述装置中,微球盘与连接杆连接,连接杆与一组压电陶瓷组件连接,与另一组压电陶瓷组件连接后再与可移动安装架连接,可移动安装架与真空镀膜机连接。两组压电陶瓷组件作为震动源在继电器的控制下间歇震动带动独立微球盘内的微球多向震动,避免了微球间的碰撞和粘连,减少了高频连续震动导致的微球间,及微球与盘壁间的碰撞,降低了对涂层的碰撞破坏,实现微球表面的均匀涂覆,提高了涂层质量。本发明结构简单,安装操作方便,能够有效提高微球表面涂层质量。
申请公布号 CN104689972B 申请公布日期 2017.03.01
申请号 CN201510138684.6 申请日期 2015.03.27
申请人 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 发明人 王涛;何智兵;何小珊;李玉红;陈志梅;许华
分类号 B06B1/06(2006.01)I 主分类号 B06B1/06(2006.01)I
代理机构 中国工程物理研究院专利中心 51210 代理人 翟长明;韩志英
主权项 水平微球间歇震动装置,其特征在于:所述的装置包括微球盘(1)、底座(9)、压电陶瓷组件A、压电陶瓷组件B、可移动安装架(6)、连接杆(3);其中,所述的压电陶瓷组件A含有压电陶瓷片Ⅰ(11)、基片Ⅰ(12),压电陶瓷组件B含有压电陶瓷片Ⅱ(5)、基片Ⅱ(4);所述的底座(9)上设有底座条孔(10)和圆台(16);其连接关系是,所述的压电陶瓷组件A的基片Ⅰ(12)一侧有一圆柱端面(13),在基片Ⅰ(12)上设置有压电陶瓷片Ⅰ(11);所述的压电陶瓷组件B的基片Ⅱ(4)上设置有压电陶瓷片Ⅱ(5),基片Ⅱ(4)上还设置有螺钉通孔Ⅱ(7);所述的可移动安装架(6)含有固定连接的立板、底面,可移动安装架(6)的立板上设置有中心圆孔(14),底面设置有十字交叉条孔(8),十字交叉条孔(8)与底座条孔(10)通过螺钉对穿固定;所述的微球盘(1)与连接杆(3)一端连接,连接杆(3)另一端与压电陶瓷组件A的基片Ⅰ(12)连接,基片Ⅰ(12)的圆柱端面(13)与压电陶瓷组件B的基片Ⅱ(4)连接,压电陶瓷组件B安装在可移动安装架(6)的立板上;所述的压电陶瓷组件B的压电陶瓷片Ⅱ(5)与基片Ⅱ(4)为同心圆;所述的压电陶瓷组件B与可移动安装架(6)上的中心圆孔(14)同轴心设置。
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