| 发明名称 |
E 3 EBEAM THREE BEAM APERTURE ARRAY |
| 摘要 |
상보적 e 빔 리소그래피(CEBL)에 적합한 리소그래피 장치들 및 이러한 리소그래피를 수반하는 방법론들이 설명되어 있다. 예에서, e 빔 툴을 위한 블랭커 애퍼처 어레이(BAA)가 설명된다. 상기 BAA는 상이한 피치의 3개의 별개의 애퍼처 어레이를 포함한다. |
| 申请公布号 |
KR20170017879(A) |
申请公布日期 |
2017.02.15 |
| 申请号 |
KR20167031219 |
申请日期 |
2014.12.19 |
| 申请人 |
인텔 코포레이션 |
发明人 |
보로도브스키, 얀 에이.;넬슨, 도날드 더블유.;필립스, 마크 씨. |
| 分类号 |
H01J37/317;H01J37/04;H01J37/302 |
主分类号 |
H01J37/317 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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