Al Al Al WATER-REACTIVE Al COMPOSITE MATERIAL WATER-REACTIVE Al ALLOY SPRAY FILM METHOD FOR MANUFACTURING Al ALLOY SPRAY FILM AND CONSTITUENT MEMBER FOR FILM DEPOSITION CHAMBER

摘要

Al 에 Al 중량 기준으로 0.2 wt％ 이상 2 wt％ 이하의 Bi, 1.5 wt％ 이상 8 wt％ 이하의 Si, 0.2 wt％ 이상 4 wt％ 이하의 Ti, 0.2 wt％ 이상 2 wt％ 이하의 Ce, 및 0.2 wt％ 이상 2 wt％ 이하의 Mg 를 첨가하여 이루어지는 용사용 수반응성 Al 복합 재료. 이 Al 복합 재료로부터 Al 합금 용사막을 얻고, 이 Al 합금 용사막으로 성막실용 구성 부재를 덮는다.