发明名称 一种LED复合匀光器及使用该复合匀光器的曝光系统
摘要 本发明公开了一种LED复合匀光器及使用该复合匀光器的曝光系统,一种LED复合匀光器及使用该复合匀光器的曝光系统,包括光源和匀光器,其特征在于:所述光源为LED芯片阵列,所述LED芯片阵列中的每个LED芯片分别对应锥形光棒阵列中的一个锥形光棒,所述锥形光棒为进光端小而出光端大的锥形,在所述锥形光棒阵列的出光端设有锥形匀光器,所述锥形匀光器为进光端小而出光端大的锥形,在所述锥形匀光器的出光端外设有曲面反射镜,该曲面反射镜的凹面与所述锥形匀光器的出光端口相对,本发明与现有技术相比较具有LED紫外光利用率高和匀光和准直效果好且结构简单成本低的显著优点。
申请公布号 CN106353972A 申请公布日期 2017.01.25
申请号 CN201610949067.9 申请日期 2016.11.03
申请人 河南百合特种光学研究院有限公司 发明人 张博
分类号 G03F7/20(2006.01)I 主分类号 G03F7/20(2006.01)I
代理机构 新乡市平原专利有限责任公司 41107 代理人 毋致善
主权项 一种LED复合匀光器,包括光源和匀光器,其特征在于:所述光源为LED芯片阵列,所述LED芯片阵列中的每个LED芯片分别对应锥形光棒阵列中的一个锥形光棒,所述锥形光棒为进光端小而出光端大的锥形,在所述锥形光棒阵列的出光端设有锥形匀光器,所述锥形匀光器为进光端小而出光端大的锥形。
地址 453000 河南省新乡市红旗区新东大道166号