发明名称 電気めっき相変化スイッチ
摘要 【課題】 電気めっき相変化スイッチを提供する。【解決手段】 本発明は、一般に、メモリ装置のための電気部品を製造するための構造、システム、及び方法に関する。例えば、導体及び絶縁体材料の交互に重なる層をエッチング停止層の上に堆積させて垂直スタックを作成し、垂直スタックを通るトレンチをエッチングしてエッチング停止層を曝露し、所望の電気的挙動に基づいて、めっき材料を用いて導体層を電気めっきし、導体層のそれぞれのためにめっき材料間の接続を形成することである。【選択図】なし
申请公布号 JP2017017321(A) 申请公布日期 2017.01.19
申请号 JP20160129323 申请日期 2016.06.29
申请人 エイチジーエスティーネザーランドビーブイ 发明人 クリスチャン アール ボンホーテ;ジェフリー リリー
分类号 H01L27/105;H01L45/00 主分类号 H01L27/105
代理机构 代理人
主权项
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