| 摘要 |
非平坦面全体に反射防止構造体を均一にかつ容易に作製できる光学素子の製造方法を提供することを目的とする。巨視的な非平坦面である第１光学面１１ｄを有する光学素子である光学要素アレイ１００の製造方法であって、第１光学面１１ｄを複数領域に区分けし、区分けされた複数領域のうち第１の領域に対して島状のマスクを形成する第１マスク形成工程と、第１マスク形成工程により島状のマスクが形成された第１の領域をエッチングして、第１の領域に反射防止構造体５１を形成する第１エッチング工程と、第１エッチング工程後、複数の領域のうち第１の領域と異なる第２の領域に対して島状のマスクを形成する第２マスク形成工程と、第２マスク形成工程により島状のマスクが形成された第２の領域をエッチングして、第２の領域に反射防止構造体５１を形成する第２エッチング工程とを備える。 |
