| 发明名称 | 一种抛光组合物 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种抛光组合物，属于化学机械抛光(CMP)领域。本发明所述组合物包含氧化铈粉，酸性二氧化硅溶胶，表面保护膜形成剂，唑类化合物及氧化铈二氧化硅桥联剂，去离子水；各组分配比为：氧化铈粉5～30wt％；酸性二氧化硅溶胶0.1～5wt％；氧化铈二氧化硅桥联剂0.01～0.5wt％；表面保护膜形成剂0.1～2wt％；唑类化合物0.1～1wt％；去离子水余量。本发明为适应超薄玻璃在低压条件下的快速抛光，开发出一种新的抛光组合物，可在低压下明显提升玻璃抛光速率，获得粗糙度更低的玻璃表面。 | ||
| 申请公布号 | CN106189873A | 申请公布日期 | 2016.12.07 |
| 申请号 | CN201610584904.2 | 申请日期 | 2016.07.22 |
| 申请人 | 清华大学;深圳清华大学研究院 | 发明人 | 王同庆;顾忠华;黄灿荣;顾敏敏;王鑫;潘国顺 |
| 分类号 | C09G1/02(2006.01)I | 主分类号 | C09G1/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人 | 李志东 |
| 主权项 | 一种抛光组合物，其持征在于，所述组合物包含氧化铈粉，酸性二氧化硅溶胶，表面保护膜形成剂，唑类化合物及氧化铈二氧化硅桥联剂，去离子水；各组分配比为：<img file="FDA0001056862770000011.GIF" wi="1278" he="551" />所述组合物适用于超薄玻璃在低压条件下的抛光。 | ||
| 地址 | 100084 北京市海淀区100084-82信箱 | ||