发明名称 |
坩埚硅材的装填方法 |
摘要 |
本发明涉及一种坩埚与坩埚硅材的装填方法。此坩埚包括底板以及涂层。底板具有一表面。涂层设置在底板的表面上。此涂层包括相对的第一面与第二面,第二面与底板的表面接触。多个第一孔,设置于涂层上,且多个第一孔沿涂层的第一面朝第二面的方向延伸凹设。所述坩埚硅材的装填方法,包括:提供坩埚,其中该坩埚包括底、以及形成于该底板的一表面上的涂层;铺设第一硅料层于该涂层上;以及铺设第二硅料层于该第一硅料层上,其中,透过该第二硅料层的重量施压于该第一硅料层上,以使该第一硅料层在该涂层中形成多个第一孔,其中所形成的该多个第一孔的孔密度为2个/cm<sup>2</sup>~100个/cm<sup>2</sup>。 |
申请公布号 |
CN103806096B |
申请公布日期 |
2016.09.07 |
申请号 |
CN201210460387.X |
申请日期 |
2012.11.15 |
申请人 |
茂迪股份有限公司 |
发明人 |
杨镇豪;何铠安;周建纲 |
分类号 |
C30B29/06(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I |
主分类号 |
C30B29/06(2006.01)I |
代理机构 |
北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 |
代理人 |
徐金国 |
主权项 |
一种坩埚硅材的装填方法,包括:提供坩埚,其中该坩埚包括底板以及形成于该底板的一表面上的涂层;铺设第一硅料层于该涂层上;以及铺设第二硅料层于该第一硅料层上,其中,通过该第二硅料层的重量施压于该第一硅料层上,以使该第一硅料层在该涂层中形成多个第一孔,其中所形成的该多个第一孔的孔密度为2个/cm<sup>2</sup>~100个/cm<sup>2</sup>。 |
地址 |
中国台湾新北市深坑区北深路三段248号6楼 |