用于对薄层的厚度进行无损测量的测量探头

摘要

本发明涉及一种用于无损测量薄层厚度的测量探头，特别是空腔中的薄层，其通过开口可进入或是在弯曲表面上的，该测量探头具有测量头(17)，其包括至少一个传感器元件(18)和分配到空腔(26)的待检查表面(27)上的传感器元件(18)上的至少一个接触球冠(31)，并具有抓握元件(12)，用于在待检表面(27)上和/或沿着待检表面(27)定位和引导测量探头(11)，特征在于在抓握元件(12)上设置长的、弹性屈服的导杆(16)，其在它的与抓握元件(12)相对的末端上接收至少一个测量头(17，60)，以这种方式，测量头以相对于导杆(16)的至少一个自由度可移动。(见图6a)。

主权项

一种用于对薄层厚度进行无损测量的测量探头，该测量探头具有测量头（17）并具有抓握元件（12），测量头（17）包括至少一个传感器元件（18）和分配到空腔（26）的待检查表面（27）上的传感器元件（18）上的至少一个接触球冠（31），抓握元件（12）用于在待检查表面（27）上和/或沿着待检查表面（27）定位和引导测量探头（11），特征在于，在抓握元件（12）上设置一种长的、弹性屈服的导杆（16），导杆（16）在其整个长度上具有弯曲形状并且在它的与抓握元件（12）相对着的末端上接纳至少一个测量头（17，60），以这种方式，测量头是以相对于导杆（16）的至少一个自由度可移动的。