发明名称 |
工件清洗设备 |
摘要 |
本实用新型提供了一种工件清洗设备,包括处理腔室(14)、施加液体介质的装置(20),还包括加热-热交换器(3501),所述施加液体介质的装置(20)将经过加热装置(35)恒温处理的至少一种液体介质(18)输送至所述处理腔室(14)的内部区域(39)的处理区域(16)对工件(12)进行处理。本实用新型通过设计制冷剂和液体介质的循环回路,在不影响设备性能的情况下,将清洗废气中的热能和水蒸汽进行回收和再利用,从而减少清洗过程中对水和能源的消耗。 |
申请公布号 |
CN205270208U |
申请公布日期 |
2016.06.01 |
申请号 |
CN201520594135.5 |
申请日期 |
2015.08.07 |
申请人 |
杜尔艾科克林有限公司 |
发明人 |
拉尔夫·丹尼尔;莱贝卡·海德尔 |
分类号 |
B08B3/02(2006.01)I;B08B3/08(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I;F25B41/06(2006.01)I |
主分类号 |
B08B3/02(2006.01)I |
代理机构 |
上海汉声知识产权代理有限公司 31236 |
代理人 |
郭国中 |
主权项 |
一种工件清洗设备,包括处理腔室(14)、施加液体介质的装置(20),其特征在于,还包括加热‑热交换器(3501),所述施加液体介质的装置(20)将经过第二加热装置(35)恒温处理的至少一种液体介质(18)输送至所述处理腔室(14)的内部区域(39)的处理区域(16)对工件(12)进行处理;还包括从处理腔室(14)内部区域抽吸气体介质的装置(37)、冷凝器(44)、制冷装置(52),所述抽吸气体介质的装置(37)将处理腔室(14)中吸出的气体介质(1801)输送至冷凝器(44),并将从液体介质(18)中吸收的蒸汽、雾状、气体成分中的任一种或任多种冷凝为冷凝液(19);所述制冷装置(52)与冷凝器(44)的二次侧相连,以便提供冷凝所需的低温,且所述制冷装置(52)和第二加热装置的一次侧(53)相连;冷凝器(44)与液体介质(18)的储存容器(24)相连,以便将冷凝器(44)中形成的冷凝液(19)送回储存容器(24),且所述储存容器(24)和施加液体介质(18)的装置(20)相连,以将液体介质(18)输送至施加液体介质的装置(20),进而施加至安排在处理腔室(14)的处理区域(16)中的工件(12)上。 |
地址 |
德国菲尔德施塔特市米勒大街12号 |