编码器用标尺、编码器、驱动装置及载台装置

摘要

通过相对于磁检测部形成强的磁场，能够减小编码器用标尺，从而能够实现编码器的小型化。一种编码器用标尺(S)具有以旋转轴(AX)为中心旋转的基板(10)，在与旋转轴(AX)交叉的基板(10)的第一面(10a)上，具有沿着旋转方向(D)的光学图案(33)，其中，在与第一面(10a)不同的基板(10)的第二面(10b)上，具有隔着旋转轴(AX)地设定成不同的磁极(N极M1n、S极M1s)的第一磁铁(M1)，在第一面(10a)上具有在第一磁铁(M1)的各个N极(M1n)、S极(M1s)之间形成磁场的第二磁铁(M2)。

主权项

一种编码器用标尺，其具有以旋转轴为中心旋转的基板，并在与所述旋转轴交叉的所述基板的第一面上具有沿着旋转方向的光学图案，所述编码器用标尺的特征在于，在与所述第一面不同的所述基板的第二面上，具有隔着所述旋转轴被设定成不同磁极的第一磁铁，在所述第一面上具有在与所述第一磁铁的各个磁极之间形成磁场的第二磁铁或磁轭。