电阻加热装置及电阻加热式蒸发源

摘要

本发明提供了一种电阻加热装置及电阻加热式蒸发源，电阻加热装置包括固定底台，所述固定底台具有相对设置的内表面和外表面，所述固定底台还具有贯穿所述内表面和外表面的第一电极通孔和第二电极通孔；位于所述内表面一侧的电阻丝；与所述电阻丝的两端分别电连接的第一内电极和第二内电极；以及第一外电极和第二外电极，所述第一外电极与所述第一内电极在所述第一电极通孔处可拆卸电连接，所述第二外电极与所述第二内电极在所述第二电极通孔处可拆卸电连接。本发明的电阻加热装置能够固定不同形状的坩埚并加热，当需要更换蒸发物料时，只需要更换坩埚即可，且更换方便，从而节约了成本。

主权项

一种电阻加热装置，其特征在于，包括：固定底台，所述固定底台具有相对设置的内表面和外表面，所述固定底台还具有贯穿所述内表面和外表面的第一电极通孔和第二电极通孔；位于所述内表面一侧的电阻丝；与所述电阻丝的两端分别电连接的第一内电极和第二内电极；以及第一外电极和第二外电极，所述第一外电极与所述第一内电极在所述第一电极通孔处可拆卸电连接，所述第二外电极与所述第二内电极在所述第二电极通孔处可拆卸电连接。