| 发明名称 | 可移除式隔离阀屏蔽插入组件 | ||
| 摘要 | 提供一种改进的隔离阀，以及用于隔离阀的可移除式屏蔽插入组件。在一个实施方式中，提供用于隔离阀的屏蔽插入组件，屏蔽插入组件包含形状为平环的石墨第一屏蔽插入件。第一屏蔽插入件具有圆形外径。形成穿过第一屏蔽插入件的长孔。形成穿过第一屏蔽插入件的至少两个紧固件孔，紧固件孔配置为将第一屏蔽插入件耦接至第一屏蔽支撑件。 | ||
| 申请公布号 | CN105580106A | 申请公布日期 | 2016.05.11 |
| 申请号 | CN201480053210.5 | 申请日期 | 2014.09.25 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 布莱恩·威德 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人 | 徐金国;赵静 |
| 主权项 | 一种用于隔离阀的屏蔽插入组件，所述屏蔽插入组件包含：石墨第一屏蔽插入件，所述石墨第一屏蔽插入件的形状为平环(flat ring)，所述第一屏蔽插入件包含：圆形外径(outer diameter)；长孔，所述长孔形成为穿过所述第一屏蔽插入件；以及至少两个紧固件孔，所述至少两个紧固件孔形成为穿过所述第一屏蔽插入件，并且所述至少两个紧固件孔配置为将所述第一屏蔽插入件耦接至第一屏蔽支撑件。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||