高分辨率扫描显微术

摘要

本发明涉及一种用于对样本(2)进行高分辨率扫描显微术的显微镜和方法，所述显微镜具有-用于对样本(2)进行照明的照明装置(3)，-成像装置(4)，用于在样本(2)上扫描至少一个点光斑或线光斑(14)并且用于在考虑成像比例的条件下在探测层面(18)内将点光斑或线光斑(14)成像为衍射受限的、静止的单个图像(17)，-探测器装置(19)，用于对于不同的扫描位置以位置分辨率采集探测层面(18)内的单个图像(17)，所述位置分辨率在考虑成像比例的情况下在至少一个延伸/维度上至少是衍射受限的单个图像(17)的半值宽度的两倍，-分析装置(C)，用于根据探测器装置(19)的数据对于扫描位置分析单个图像(17)的衍射结构并且用于产生样本(17)的图像，所述图像的分辨率超过衍射极限，其中，-探测器装置(19)具有：-探测器阵列(24)，所述探测器阵列具有像素(25)并且大于单个图像(17)，和-不成像的再分配元件(20-21；30-34；30-35)，其布置在探测器阵列(24)上游并且将来自探测层面(18)的射线以不成像的方式分配到探测器阵列(24)的像素(25)上，-其中，在调整回路中，通过根据调整信号切换再分配元件和/或调节用于适配图像尺寸的变焦光学器件/聚焦光学器件和/或联合探测器阵列的单个像素来进行调整，-其中，该调整包含了图像对比度和/或图像清晰度和/或信噪比来作为调整参量。

主权项

一种用于对样本(2)进行高分辨率扫描显微术的显微镜，具有‑用于对样本(2)进行照明的照明装置(3)，‑成像装置(4)，用于在样本(2)上扫描至少一个点光斑或线光斑(14)并且用于按成像比例在探测层面(18)内将所述点光斑或线光斑(14)成像为衍射受限的、静止的单个图像(17)，‑探测器装置(19)，用于对于不同的扫描位置以位置分辨率采集探测层面(18)内的单个图像(17)，所述位置分辨率在考虑成像比例的情况下在至少一个延伸/维度上至少是衍射受限的单个图像(17)的半值宽度的两倍，‑分析装置(C)，用于根据探测器装置(19)的数据对于扫描位置分析单个图像(17)的衍射结构并且用于产生样本(17)的图像，所述图像的分辨率超过衍射极限，其中，‑探测器装置(19)具有：‑探测器阵列(24)，所述探测器阵列具有像素(25)并且大于单个图像(17)，和‑不成像的再分配元件(20‑21；30‑34；30‑35)，所述再分配元件布置在探测器阵列(24)上游并且将来自探测层面(18)的射线以不成像的方式分配到探测器阵列(24)的像素(25)上。