| 发明名称 | 氧化物烧结体及溅射靶、以及其制造方法 | ||
| 摘要 | 一种将氧化锌、氧化铟、氧化镓和氧化锡混合并烧结而得到的氧化物烧结体。所述氧化物烧结体的相对密度为85％以上，在所述氧化物烧结体的表面观察到的晶粒的平均晶粒直径小于10μm。对所述氧化物烧结体进行X射线衍射时，Zn<sub>2</sub>SnO<sub>4</sub>相和InGaZnO<sub>4</sub>相为主相，InGaZn<sub>2</sub>O<sub>5</sub>相为3体积％以下。 | ||
| 申请公布号 | CN104619674B | 申请公布日期 | 2016.03.30 |
| 申请号 | CN201380047358.3 | 申请日期 | 2013.09.10 |
| 申请人 | 株式会社钢臂功科研 | 发明人 | 田尾幸树;畠英雄;南部旭;金丸守贺 |
| 分类号 | C04B35/453(2006.01)I;C04B35/00(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;H01L21/363(2006.01)I | 主分类号 | C04B35/453(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 葛凡 |
| 主权项 | 一种氧化物烧结体，其特征在于，是将氧化锌、氧化铟、氧化镓和氧化锡混合并烧结而得到的氧化物烧结体，所述氧化物烧结体的相对密度为85％以上，所述氧化物烧结体的平均晶粒直径小于10μm，对所述氧化物烧结体进行X射线衍射时，Zn<sub>2</sub>SnO<sub>4</sub>相和InGaZnO<sub>4</sub>相的体积百分含量分别满足下述式(1)～(3)，(Zn<sub>2</sub>SnO<sub>4</sub>相+InGaZnO<sub>4</sub>相)/(Zn<sub>2</sub>SnO<sub>4</sub>相+InGaZnO<sub>4</sub>相+InGaZn<sub>2</sub>O<sub>5</sub>相+SnO<sub>2</sub>相)≥70体积％···(1)Zn<sub>2</sub>SnO<sub>4</sub>相/(Zn<sub>2</sub>SnO<sub>4</sub>相+InGaZnO<sub>4</sub>相+InGaZn<sub>2</sub>O<sub>5</sub>相+SnO<sub>2</sub>相)≥30体积％···(2)InGaZnO<sub>4</sub>相/(Zn<sub>2</sub>SnO<sub>4</sub>相+InGaZnO<sub>4</sub>相+InGaZn<sub>2</sub>O<sub>5</sub>相+SnO<sub>2</sub>相)≥10体积％···(3)并且，InGaZn<sub>2</sub>O<sub>5</sub>相的体积比满足下述式(4)，InGaZn<sub>2</sub>O<sub>5</sub>相/(Zn<sub>2</sub>SnO<sub>4</sub>相+InGaZnO<sub>4</sub>相+InGaZn<sub>2</sub>O<sub>5</sub>相+SnO<sub>2</sub>相)≤3体积％···(4)。 | ||
| 地址 | 日本国兵库县 | ||