用于图案化样本中之计量量测的测试结构设计

摘要

明提出一种用于样本图案之计量量测的测试结构，该样本图案系由周期性之复数单位格子形成，该等单位格子各由沿着图案轴以分隔关系排列的图案特征部形成。该测试结构包含测试图案，该测试图案系由主要图案及预定之辅助图案形成，该主要图案包含该等单位格子之一或更多者的主要图案特征部、并具有对称平面，该辅助图案包含分隔的至少二辅助特征部，该等辅助特征部系位于主要图案之主要图案特征部的至少一些者内，在计量量测期间，主要图案之主要图案特征部的该至少一些者之参数将受控制。

主权项

一种用于样本图案之计量量测的测试结构，该样本图案系由周期性之复数单位格子形成，该等单位格子各由沿着一图案轴以分隔关系排列的图案特征部形成，该测试结构包含一测试图案，该测试图案系由一主要图案及预定之一辅助图案形成，该主要图案包含该等单位格子之一或更多者的主要图案特征部、并具有一对称平面，该辅助图案包含分隔的至少二辅助特征部，该等辅助特征部系位于该主要图案之该等主要图案特征部的至少一些者内，在计量量测期间，该主要图案之该等主要图案特征部的该至少一些者之参数将受控制。