SENSOR ELEMENT

摘要

Die Erfindung betrifft ein Sensorelement (1) mit einem Substrat (2) das ein bevorzugt mittels Dünnschichttechnik aufgetragenes, dehnungssensitives Element (3) aufweist, welches zur Messung der Verformung des Substrats (2) bei Druckbeaufschlagung oder Krafteinleitung dient. Erfindungsgemäß besteht das dehnungssensitive Element aus XAlO y N 1-y , wobei X ein Metall mit einer hohen Schmelztemperatur im Bereich größer 1400°C ist und 0 < y < 0,4 gilt. Auf das dehnungssensitive Element (3) kann eine Passivierungsschicht (5) aufgetragen sein.