一种常压等离子体处理装置

摘要

本发明涉及一种改进型常压等离子体处理装置，包括一阴极板，与所述阴极板相对应的阳极板，所述阴极板和所述阳极板之间接入高频电源，所述阴极板和所述阳极板之间形成高频电场，所述阴极板和所述阳极板之间有一绝缘层，所述阴极板上设置有至少一个通气孔，所述通气孔用以气体的进入，所述通气孔与一气体腔连接，被处理物料设置在所述绝缘层上，本发明的等离子体处理装置可以简单均匀地处理物料，且不需要再真空条件下进行，只要在常压下就能很好的处理需要处理的物料。

主权项

一种常压等离子体处理装置，包括一阴极板，与所述阴极板相对应的阳极板，所述阴极板和所述阳极板之间接入高频电源，所述阴极板和所述阳极板之间形成高频电场，其特征在于，所述阴极板的厚度大于所述阳极板的厚度，所述阴极板和所述阳极板之间有一绝缘层，所述阴极板上设置有至少一个通气孔，所述通气孔用以气体的进入，所述通气孔与一气体腔连接，被处理物料设置在所述绝缘层上，所述气体腔为相互间隔设置的圆柱形，所述气体腔的内径大于所述通气孔的内径，所述气体腔的一端与所述通气孔连接，所述气体腔的另一端与所述绝缘层连接。